英國(guó)愛德華渦輪分子泵STP-XA2703C VG250

概述

STP-XA2703C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能，并提高所有氣體的吞吐量。 

此泵基于新的平臺(tái)設(shè)計(jì)，提供各種功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。 

其出色的性能既適用于溫和的應(yīng)用環(huán)境，也適用于嚴(yán)苛的環(huán)境，例如半導(dǎo)體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。英國(guó)愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修

應(yīng)用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
• MBE
• 擴(kuò)散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長(zhǎng)
• 晶片檢查
• 負(fù)載鎖真空腔
• 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋英國(guó)愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修

  功能和優(yōu)勢(shì)

  良好的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)  

• 增強(qiáng)的 H2、N2 和 Ar 性能

• 改進(jìn)了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內(nèi)的性能

• 免維護(hù)

• 5 軸磁懸浮系統(tǒng)  

• 無污染

• 低振動(dòng)

• 創(chuàng)新性轉(zhuǎn)矩管理  

• 獲得轉(zhuǎn)矩減少機(jī)械裝置

• 優(yōu)化的溫度管理系統(tǒng)  

• 高溫 TMS 能力

• 低沉積

• 內(nèi)置冷卻機(jī)械裝置

• 更高的氣體吞吐量（加熱和未加熱）

• 延長(zhǎng)壽命

• 可用于嚴(yán)苛制程

• 認(rèn)證  

• 符合 SEMI®，具有 CE 標(biāo)記，列于 UL 中

  技術(shù)數(shù)據(jù)

  入口法蘭	VG250
  抽速
  N2	2650 ls-1
  H2	2050 ls-1
  壓縮比
  N2	>108
  H2	>6 x 103
  極限壓力	10-7 Pa
  大允許前級(jí)壓力	266 Pa
  大允許氣體流量
  N2（水冷卻）	2300 sccm
  	(3.8 Pam3s-1)
  Ar（水冷卻）	1900 sccm
  	(3.2 Pam3s-1)
  額定速度	27500 rpm
  啟動(dòng)時(shí)間	8 min
  固定位置	任何方向
  水冷卻流量	3 lmin-1
  水冷卻溫度	5-25 °C (41-77 °F)
  壓力	0.3 MPa
  推薦的吹掃氣體流量	50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
  輸入電壓	200 至 240 V 交流(± 10)
  功耗	1.5 kVA
  泵重量	75 kg (165 lb)
  控制器重量	12 kg (26.4 lb)

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一、進(jìn)口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進(jìn)口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進(jìn)口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。